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愛(ài)德華羅茨泵 EH2600 |
關(guān)鍵詞:愛(ài)德華 羅茨泵 EH2600 |
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公司名稱:上海萬(wàn)庫(kù)真空設(shè)備有限公司 |
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詳細(xì)說(shuō)明 |
應(yīng)用 · 半導(dǎo)體制程 · 真空蒸餾 · 真空包裝 · 鋼脫氣 · 薄膜覆層 · 真空冶金 · 低密度風(fēng)洞 · 空間模擬 · 真空浸漬 · 油干燥和脫氣 · 制藥冷凍干燥 · CO2 激光 功能和優(yōu)勢(shì) · 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。 · 它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。 · EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供: o 安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。 o 牢靠且防腐蝕。 o 先進(jìn)的軸封技術(shù),處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染 · 防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。 · 經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到*低。 · 軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要*高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。 · 動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。 技術(shù)數(shù)據(jù)
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