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EdWARDS羅茨泵 EH250 |
關鍵詞:EdWARDS 羅茨泵 EH250 |
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公司名稱:上海萬庫真空設備有限公司 |
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詳細說明 |
應用 · 半導體制程 · 真空蒸餾 · 真空包裝 · 鋼脫氣 · 薄膜覆層 · 真空冶金 · 低密度風洞 · 空間模擬 · 真空浸漬 · 油干燥和脫氣 · 制藥冷凍干燥 · CO2 激光 功能和優(yōu)勢 · 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。 · 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。 · EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供: o 安靜的無振動運行。 o 牢靠且防腐蝕。 o 先進的軸封技術,處理艙中不會出現(xiàn)油污染 · 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。 · 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到*低。 · 軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要*高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。 · 動態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。 技術數(shù)據(jù)
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